遼寧日報、證券時報聯(lián)合報道組
編者按
作為新中國工業(yè)的搖籃，遼寧憑借深厚的工業(yè)“沃土”、集聚的產(chǎn)業(yè)“陽光”和豐沛的科教“種子”，在精密制造領(lǐng)域厚積薄發(fā)，尤其是在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)異軍突起，成為中國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的“第三極”。
而資本市場在其中扮演了至關(guān)重要的角色，為科技企業(yè)從“活下來”到“活得好”再到“騰飛”提供了強(qiáng)大動能。近日，遼寧日報、證券時報“從資本市場看地方高質(zhì)量發(fā)展”大型融媒報道采訪團(tuán)深入遼寧一線企業(yè)，通過深度調(diào)研與案例剖析，從資本市場視角解碼遼寧如何以金融活水澆灌“芯”田，驅(qū)動老工業(yè)基地向新質(zhì)生產(chǎn)力高地躍遷。敬請垂注。
渾河之畔，鐵西區(qū)的老廠房曾托起新中國工業(yè)的脊梁，齒輪與軸承的轟鳴聲里，“東方魯爾”的鋼鐵血脈流淌了半個世紀(jì)。而今，沈陽這座鐫刻著“共和國長子”榮光的城市，正以精密半導(dǎo)體設(shè)備的嗡鳴續(xù)寫新的傳奇。
在京津冀與長三角的半導(dǎo)體版圖之外，以沈陽為代表的遼寧工業(yè)重鎮(zhèn)用20年時間破繭成蝶，將老工業(yè)基地的厚重積淀熔鑄成中國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代的東北“極光”。截至2025年5月底，遼寧省上市公司數(shù)量共84家，高新技術(shù)企業(yè)占比過半，以拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密為代表的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)提交了一份嶄新的資本市場“遼寧答卷”。
從薄膜沉積設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備到半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件，遼寧企業(yè)在一個又一個領(lǐng)域中打破海外壟斷，托起國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的脊梁。
根植沃土：從鋼鐵轟鳴到“芯片森林”
在沈陽，一條渾河串聯(lián)起遼寧產(chǎn)業(yè)發(fā)展的脈絡(luò)，當(dāng)北岸鐵西區(qū)的鋼鐵轟鳴聲逐漸遠(yuǎn)去，南岸的渾南區(qū)一座座半導(dǎo)體設(shè)備工廠拔地而起。從2019年至今，遼寧在資本市場從無到有跑出了芯源微、神工股份、拓荊科技、富創(chuàng)精密、連城數(shù)控5家以半導(dǎo)體為主業(yè)的上市公司，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)集群規(guī)模初現(xiàn)。
不僅勢頭猛，而且后勁足，在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域擁有核心技術(shù)的沈陽新松半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡稱“新松半導(dǎo)體”）、沈陽和研科技股份有限公司（以下簡稱“和研科技”）、中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（以下簡稱“中科儀”）等上市后備力量也在遼寧深深扎根、靜待花開。
沈陽市發(fā)展改革委相關(guān)負(fù)責(zé)人接受證券時報記者采訪時表示，沈陽市集成電路產(chǎn)業(yè)集群重點(diǎn)企業(yè)數(shù)量已達(dá)57家，形成了以拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密、中科儀、和研科技、新松半導(dǎo)體6家龍頭企業(yè)為主體，N家配套企業(yè)為支撐的“6+N”產(chǎn)業(yè)發(fā)展體系。
“拓荊科技的PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)沉積設(shè)備）、ALD（原子層薄膜沉積設(shè)備）、Gap Fill（溝槽填充）及應(yīng)用于三維集成領(lǐng)域的先進(jìn)鍵合設(shè)備已達(dá)到國際先進(jìn)水平。芯源微的前道涂膠顯影設(shè)備已與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)運(yùn)行，成為中高端涂膠顯影機(jī)國內(nèi)唯一的供應(yīng)商。富創(chuàng)精密是國內(nèi)精密零部件領(lǐng)軍企業(yè)，也是全球為數(shù)不多的能夠量產(chǎn)應(yīng)用于7納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備的精密零部件制造商。”上述負(fù)責(zé)人表示。
為何遼寧能長出這一片半導(dǎo)體設(shè)備“森林”？工業(yè)基礎(chǔ)是“土壤”，產(chǎn)業(yè)集聚是“陽光”，而科教基因是“種子”。從工業(yè)基礎(chǔ)來看，遼寧省工業(yè)門類齊全且體系完備，國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)41個工業(yè)大類，遼寧擁有40個（僅缺其他采礦業(yè)）。
新松半導(dǎo)體總經(jīng)理程龍表示：“沈陽制造業(yè)有著得天獨(dú)厚的優(yōu)勢，半導(dǎo)體裝備核心零部件的產(chǎn)業(yè)配置完善，在政策引導(dǎo)下形成了集成電路裝備產(chǎn)業(yè)集群，集群效應(yīng)讓新松半導(dǎo)體得以快速發(fā)展。”
沈陽市發(fā)展改革委相關(guān)負(fù)責(zé)人稱，早在2004年，沈陽就成立了全國第一個集成電路裝備制造業(yè)產(chǎn)業(yè)基地，2010年該基地被科技部認(rèn)定為國家集成電路裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地。如今沈陽正推進(jìn)以渾南“北方芯谷”產(chǎn)業(yè)片區(qū)為主的“一主兩翼”產(chǎn)業(yè)空間布局建設(shè)，加快集成電路產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展。
半導(dǎo)體設(shè)備是典型的高精尖產(chǎn)業(yè)，在“遼寧集群”崛起之路上，科研基因起到了關(guān)鍵作用。遼寧科教實力雄厚，全省共有高等院校114所，其中本科高校63所，數(shù)量位居全國第六。2024年，遼寧新增了10家全國重點(diǎn)實驗室，圍繞重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)布局了20個重點(diǎn)實驗室群，全省選派超千名科技特派員服務(wù)企業(yè)。
遼寧半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)版圖深植“中國科學(xué)院基因”，多家龍頭企業(yè)的發(fā)展源頭可追溯至中國科學(xué)院科研院所。中國科學(xué)院沈陽分院在遼寧有大連化學(xué)物理研究所、金屬研究所、沈陽應(yīng)用生態(tài)研究所、沈陽自動化研究所4個研究所，以及沈陽計算技術(shù)研究所有限公司、中科儀2個整體轉(zhuǎn)制公司。其中，中科儀是國內(nèi)唯一實現(xiàn)集成電路領(lǐng)域批量應(yīng)用的干式真空泵制造企業(yè)。
而沈陽自動化研究所的產(chǎn)業(yè)孵化能力尤為突出：其控股的創(chuàng)業(yè)板上市公司新松機(jī)器人孕育了新松半導(dǎo)體；早年發(fā)起成立的沈陽先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司（于2013年退出），現(xiàn)為富創(chuàng)精密的第一大股東；芯源微的創(chuàng)立同樣源自該所，其創(chuàng)始人、榮譽(yù)董事長宗潤福，曾擔(dān)任自動化研究所的研究員、室主任。
科教埋下的“種子”，在政策、金融、企業(yè)、市場多方合力下茁壯成長，讓遼寧這片“鋼鐵大地”生長出覆蓋薄膜沉積設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、真空機(jī)械手等全產(chǎn)業(yè)鏈的“半導(dǎo)體設(shè)備森林”。
鍛金礪鋒：用金融力量磨出科技鋒刃
全球產(chǎn)業(yè)爭鋒猶如棋盤對弈，布局遠(yuǎn)非一日之功。遼寧半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)從“活下來”到“活得好”，離不開政策和金融力量的支撐。棋盤山所在的渾南區(qū)就是沈陽半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“主陣地”，匯聚了拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密等核心企業(yè)。
拓荊科技董事長呂光泉表示，在中國半導(dǎo)體設(shè)備“從0到1”的路上，國家重大科技專項功不可沒。拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密與新松半導(dǎo)體均承擔(dān)著國家重大科技專項的部分研發(fā)任務(wù)，并從中獲得了重要的資金支持。
半導(dǎo)體設(shè)備是公認(rèn)的“燒錢”行業(yè)，研發(fā)制造需要大量資金持續(xù)投入，并且從產(chǎn)品研發(fā)到上市的周期極長，更加拔高了資金需求。呂光泉認(rèn)為，中國的產(chǎn)業(yè)政策在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域起到了實效，資金的進(jìn)入對產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到了重要支撐作用。
“你現(xiàn)在看到的所有第一梯隊的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，基本上都承擔(dān)過‘02專項’，它讓半導(dǎo)體材料和設(shè)備完成了‘從0到1’的跨越，造就了這些企業(yè)的第一代技術(shù)。”呂光泉表示，“而‘從1到10’的路上，國家大基金進(jìn)來了。”
2014年，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金一期股份有限公司（即國家大基金一期）成立，近七成資金投入集成電路制造領(lǐng)域。到今天為止，已經(jīng)有三期國家大基金出現(xiàn)，總注冊資本超過了6400億元。
和研科技總經(jīng)理余胡平表示，2022年12月，和研科技在B+輪融資中獲得了國家大基金二期的投資，為公司發(fā)展“踩了一腳油門”。目前和研科技已成為國產(chǎn)切磨拋裝備的領(lǐng)軍企業(yè)，在劃片機(jī)、切割分選機(jī)和研磨機(jī)等半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域關(guān)鍵設(shè)備上，逐步打破海外企業(yè)壟斷。
而遼寧半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)“從10到100”的路，得益于科創(chuàng)板提供的多項助力。富創(chuàng)精密創(chuàng)始人、董事長鄭廣文表示：“科創(chuàng)板實際上救了中國的半導(dǎo)體，它把資金和資源聚集到半導(dǎo)體企業(yè)的身上。”
2019年12月16日，芯源微在科創(chuàng)板上市，成為“遼寧省科創(chuàng)板第一股”，形成了示范效應(yīng)，帶動了一批真正有技術(shù)、有市場的沈陽半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)赴科創(chuàng)板上市。2022年4月，拓荊科技在科創(chuàng)板上市，同年10月，富創(chuàng)精密登陸科創(chuàng)板。
向科創(chuàng)板的“一躍”，使遼寧半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)有了充足的資金去擴(kuò)張產(chǎn)能、研究技術(shù)。同時，科創(chuàng)板的股權(quán)激勵政策也讓半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)能更從容地面對行業(yè)激烈的人才爭奪戰(zhàn)。
宗潤福表示：“芯源微在科創(chuàng)板上市之后，科創(chuàng)板的股權(quán)激勵提供了非常好的工具，對于公司穩(wěn)定人才和吸引人才發(fā)揮了非常重要的作用。”據(jù)透露，芯源微核心工程師的股權(quán)激勵收入曾一度達(dá)到其年收入的2倍，產(chǎn)生了對人才的“磁吸”效應(yīng)。
“在科創(chuàng)板上市5年多以來，我們公司收入增長了8倍，利潤也增長了8倍。無論是IPO的資金還是上市之后的增發(fā)，這些融資擴(kuò)產(chǎn)都讓公司受益。科創(chuàng)板對企業(yè)內(nèi)控的嚴(yán)格要求，也讓公司管理更加規(guī)范化。” 宗潤福表示，“如果沒趕上科創(chuàng)板，我們可能也是一個健康的企業(yè)，但很難成為一家騰飛的企業(yè)。”
呂光泉認(rèn)為，對許多半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)來說，從“02專項”到國家大基金再到科創(chuàng)板上市，這三環(huán)每一環(huán)都不可或缺，有了持續(xù)的資金加持，前期踏踏實實搞研發(fā)、真正有技術(shù)突破的企業(yè)才能實現(xiàn)“從0到100”的騰飛。
改天換地：營商環(huán)境出現(xiàn)質(zhì)變
國家層面的政策如雨露甘霖潤澤各地，為何是遼寧長出了半導(dǎo)體設(shè)備的“廣闊森林”，逐步發(fā)展成中國半導(dǎo)體設(shè)備“第三極”？遼寧為何能培育出這么一批有活力、有沖勁的創(chuàng)新型科技企業(yè)？
這背后，是沈陽在內(nèi)的遼寧省多個城市讓營商環(huán)境“改天換地”，樹立了極強(qiáng)的服務(wù)企業(yè)的意識。對企業(yè)的服務(wù)上，沈陽市發(fā)展改革委等政府部門以“店小二”式的服務(wù)態(tài)度幫企業(yè)排憂解難，樹立了“項目為王、招商為要、落地為大”的服務(wù)理念。
沈陽市發(fā)展改革委相關(guān)負(fù)責(zé)人舉了這樣一個案例：在拓荊科技半導(dǎo)體先進(jìn)薄膜設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地項目落地沈陽的過程中，曾遇到門前有未貫通路段等問題，沈陽市發(fā)展改革委主動傾聽企業(yè)訴求，多次組織召開協(xié)調(diào)會議，最后成功解決了企業(yè)門前路段貫通、開工前期場地平整、項目場地開口、停車位配建等多項問題，幫助項目順利落地開工。
沈陽市委金融辦則以“全周期護(hù)航”的態(tài)度陪伴企業(yè)發(fā)展。沈陽市委金融辦副主任、沈陽市地方金融管理局局長韓賓表示，在前端，市委金融辦建立了“上市快速響應(yīng)機(jī)制”，對企業(yè)改制涉及的土地、稅務(wù)等問題適時啟動“上市聯(lián)席會議制度”，實行總對總的協(xié)調(diào)辦理，由市委金融辦對企業(yè)上市前期的訴求協(xié)調(diào)各部門分析、研判、解決。
“在中端，沈陽市委金融辦為企業(yè)協(xié)調(diào)并購貸款、融資擔(dān)保等金融服務(wù)，邀請交易所專家到企業(yè)實地考察調(diào)研并‘切脈聽診’，為企業(yè)上市創(chuàng)造有利條件、掃清障礙。在后端，市委金融辦設(shè)立了上市服務(wù)專班，為企業(yè)配備‘上市服務(wù)秘書’，2024年為宏遠(yuǎn)股份、東方鈦業(yè)等企業(yè)協(xié)調(diào)解決合規(guī)性審查、國有資產(chǎn)確權(quán)等難題超過十項。”韓賓表示。
“我們就是服務(wù)員。”遼寧省地方金融管理局副局長戰(zhàn)巍表示。在接受記者采訪時，他剛從深圳回到沈陽，在深圳舉辦了2025“創(chuàng)投遼寧”發(fā)展大會深圳專場路演活動，拜訪了頭部創(chuàng)投機(jī)構(gòu)，希望能吸引深圳投資者投資遼寧企業(yè)、分享遼寧發(fā)展紅利，助力遼寧企業(yè)早日登陸資本市場。目前，遼寧有上市輔導(dǎo)備案企業(yè)近30家。
對上市后備梯隊企業(yè)的“彎腰服務(wù)”，讓遼寧在資本市場收獲累累碩果且有“豐收展望”。自2019年以來，遼寧新增境內(nèi)上市公司22家，占到了目前84家存量上市公司的26.2%。戰(zhàn)巍表示，目前遼寧上市后備庫企業(yè)共470家，其中專精特新、“瞪羚”、高新技術(shù)等科技型企業(yè)近350家。
聚力攻堅：打響創(chuàng)投補(bǔ)強(qiáng)、產(chǎn)業(yè)拓展長期戰(zhàn)役
盡管在資本市場上，遼寧已經(jīng)點(diǎn)燃了“芯”星之火，但想讓其形成燎原之勢、帶起整個“遼寧板塊”在資本市場上的聲量，依然需要在多方面持續(xù)發(fā)力。
其一，需強(qiáng)化創(chuàng)投生態(tài)。與發(fā)達(dá)地區(qū)相比，遼寧本土創(chuàng)投力量稍顯薄弱，在一定程度上制約了本地半導(dǎo)體企業(yè)的融資能力。外地創(chuàng)投機(jī)構(gòu)對遼寧本土企業(yè)的了解，也很難像本土機(jī)構(gòu)一樣深刻，需避免優(yōu)質(zhì)項目可能因“地域認(rèn)知差”而錯失發(fā)展機(jī)遇。
戰(zhàn)巍表示，遼寧省正在積極改善創(chuàng)投發(fā)展生態(tài)，2024年成功舉辦首屆遼寧產(chǎn)投融合發(fā)展大會，發(fā)布200個重點(diǎn)新質(zhì)生產(chǎn)力企業(yè)融資項目，釋放融資需求超120億元，吸引全國近百家創(chuàng)投機(jī)構(gòu)走進(jìn)遼寧。遼寧省還推出給予創(chuàng)投機(jī)構(gòu)每家每年最高1000萬元的財政資金激勵、給予創(chuàng)投人才每人每年10萬元的人才獎勵等系列措施，支持創(chuàng)業(yè)投資機(jī)構(gòu)發(fā)展，相繼吸引22只基金在遼寧省注冊落地，認(rèn)繳資金70.92億元。
此外，遼寧還上線了“創(chuàng)投遼寧”股權(quán)投融資服務(wù)平臺，常態(tài)化開展“創(chuàng)投遼寧”投融資路演活動，通過上交所“星企航”、深交所“科融通”平臺向全國投資者推送，累計向千余家次投資機(jī)構(gòu)發(fā)布企業(yè)融資需求近300億元，一年來助力20余家企業(yè)獲得股權(quán)融資5.7億元。
戰(zhàn)巍稱，當(dāng)前遼寧省正大力爭取國家級基金、央企資本及頭部創(chuàng)投機(jī)構(gòu)在遼設(shè)立或參股子基金，支持符合條件的創(chuàng)投機(jī)構(gòu)發(fā)行科創(chuàng)債以擴(kuò)充資金池。今年7月初，遼寧將舉辦2025創(chuàng)投遼寧發(fā)展大會，將邀請創(chuàng)投機(jī)構(gòu)深度走訪遼寧，深入了解遼寧豐厚的科教底蘊(yùn)和“硬科技”本色。
其二，遼寧以重工業(yè)為主，在多個領(lǐng)域“大工廠”的身份強(qiáng)于“大市場”。以半導(dǎo)體設(shè)備為例，沈陽的產(chǎn)業(yè)鏈條著力發(fā)展整機(jī)裝備環(huán)節(jié)，而半導(dǎo)體晶圓廠產(chǎn)線的應(yīng)用集中在北京和上海地區(qū)，拓荊科技、新松半導(dǎo)體在內(nèi)的沈陽企業(yè)為了離市場更近，也選擇在上海、北京等地設(shè)立子公司或分公司。
為了“強(qiáng)鏈、固鏈、延鏈”，沈陽市積極謀劃集成電路設(shè)計、集成電路芯片產(chǎn)線等一批重點(diǎn)項目，填補(bǔ)在產(chǎn)業(yè)鏈上的“空白地帶”。沈陽市發(fā)展改革委表示，沈陽重點(diǎn)圍繞產(chǎn)業(yè)鏈上下游配套，推進(jìn)浙江慶鑫半導(dǎo)體測試設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)基地等一批項目簽約落地，推動天科合達(dá)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地等項目年內(nèi)開工，助力漢京半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地等項目竣工投產(chǎn)。
“我們的目標(biāo)是：將沈陽建設(shè)成為具有國際重要影響力和競爭力的集成電路裝備產(chǎn)業(yè)基地，將集成電路裝備產(chǎn)業(yè)打造成為‘沈陽制造’新名片、新標(biāo)志。”沈陽市發(fā)展改革委相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。
在一個又一個戰(zhàn)場，以沈陽為代表的遼寧城市正打響長期的攻堅戰(zhàn)役。在營商環(huán)境上“改天換地”的遼寧，也需將半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展壯大的經(jīng)驗復(fù)制到其他產(chǎn)業(yè)。只有在更多產(chǎn)業(yè)上走到全國“新一極”，才能真正在資本市場燃起“遼寧板塊”的燎原之火。
（證券時報記者 胡學(xué)文 安宇飛 遼寧日報記者 孔愛群 張學(xué)軍）
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